熱式氣體質量流量計是利用傳熱原理檢測流量的儀表，即根據(jù)流動中的流體與熱源（流體中外加熱的物體或測量管外加熱體）之間熱量交換關系進行測量；主要測量氣體；熱式氣體質量流量計主要分兩大類，即熱分布式和浸入式（或插入式）。
1、熱式氣體質量流量計的特點
（1）熱分布式質量流量計的主要特點：直接測量質量流量無需溫壓補償；非接觸式，無活動部件，無阻流件，壓力損失小，可靠性高；可測量低流速微小氣體流量，最低5mL/min（標準狀態(tài)）；要求氣體介質干燥潔凈，不含水分、油等雜志；分流型可獲線性特性，可用于測量大、中氣壓流量，使用時要保證分流溫度；動態(tài)響應慢，時間常數(shù)5s左右。
（2）浸入式熱式質量流量計的主要特點：直接測量質量流量無需溫壓補償；無活動部件，可靠性高；適用于大口徑、非圓截面管道、現(xiàn)場空間狹窄處測量（插入式）；檢測作為帶不銹鋼外殼的鉑電阻傳感器，對于其他中的粉塵、固體顆粒、油分、水分不敏感。插入式可以不斷流取出維修更換。可用于測量臟污流體測量。
2、熱式氣體質量流量計的選用
（1）針對小、微量氣體流量，熱分布式質量流量計可用于單一組分氣體或固定比例的混合氣體測量。
（2）大口徑流量測量中可選用插入式浸入式熱式質量流量計。
3、熱式氣體質量流量計安裝使用注意事項
（1）安裝姿勢方面，大部分熱式分布式的質量流量計可任何姿勢（水平、垂直或傾斜）安裝，只要在安裝好后在工作條件壓力、溫度下作電氣零點調整，但是有些儀表則對安裝姿勢敏感，必須嚴格按說明書進行。大部分浸入式熱式質量流量計性能不受安裝姿勢影響，但是在低流速時要嚴格按說明書進行。
（2）前直管段方面，熱分布式不敏感，而帶測量管的浸入式流量傳感器和插入式儀表需要一定長度前直管段，按制造廠建議安裝。
（3）連接熱式質量流量計的管道在常見范圍內的振動不會產生振動干擾；而插入式熱式質量流量計的檢測桿必須固定于管道并避開振動場所。
（4）熱式質量流量計響應時間長，不適用于脈動流。
